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铝钕合金溅射靶材的作用
作者:管理员    发布于:2016-12-20 03:29:33    文字:【】【】【

铝钕合金溅射靶材的作用

随着全世界平面显示器需求不断成长的趋势下,国内的TFT-LCD平面显示器产业经过过去几年之努力,已有不错之成绩;基本上,平面显示器在生产过程中有许多薄膜制程,相对的,相关溅镀靶材之需求也将随之成长。

国内近2年来,国外液晶显示器企业陆续在内投资最新TFT-LCD/LCM(8代以上)生产线.对玻璃基板电极层的镀膜靶材要求越来越高,由开始AL-SI-CU合金靶材.到现在替代产品为钼铝钼合金靶材(钼铌-铝钕-钼铌).其核心为铝钕合金(Al-Nd)靶材,在铝板中掺加合适的钕(Nd)金属,第一,可以起到好的抗腐蚀性;第二,较低的电阻率,第三,显示屏不会发黄.第四,在后段热处理时不会起凹凸物,从而减少镀膜工序.

结合以上特点,铝钕合金靶材是电极层溅镀的最佳选择.稀土钕具有工业味精的作用,加入含量不到2%,但对材料的性能提升很大。另外在铝中加入微量钕,成本并不是很高。钕是16种稀土金属中最常见,比较便宜的稀土金属,2010年前,价格稳定在200-400元/kg. (近期稀土金属猛涨,Nd价格涨至1500元/kg,等市稳定,钕价应该会回归一些)。当然业内最近几年有行业人士研究,如在铝中掺加铼(Re)、钽(Ta)、钪(Sc)等金属。但是,相比之下,铼(Re)、钽(Ta)这些金属的熔点都比铝高很多,真空熔炼合金靶材最担心就是合金不充分,偏析,铼(Re)和钽(Ta)金属同铝不易合金化,控制合金成均匀比较难,故不好使用;用钪(Sc)去做合金,虽然效果比钕(Nd)好,但是成本非常高。而钕(Nd)金属的熔点就接近铝(Al)金属,做出的靶材纯度高,而且均匀;溅镀的电极层薄膜可以达到最佳效果。钕(Nd)成本相对上述三种金属便宜的多,是一种物美价廉的合金靶材添加剂。

在这个追求高品质产品的社会里。TFT-LCD行业的发展,如果企业生产技术和材料这块,不往高端方向和合理成本化发展,将逐步被市场淘汰。

 

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